主要性能指標

爐室資料Puller Data
坩堝直徑 Crucible  diameter： 14"-18"
單晶直徑 Crystal diameter： 4"-8"
裝料量 Charge size：120 kg
喉管直徑 Throat Diameter：10" (254 mm)
主爐膛內徑 Main furnace Diameter：Φ762 mm 

主爐膛高度 Main furnace Height：1067 mm 

爐門開口尺寸 Pull Chamber Door Opening： 11"×68"（280 mm×1727 mm）
主真空泵抽速 Vacuum Pumps-Main：148 cfm (4200 l/min)
輔助真空泵抽速(Recommended) Aux：21.2 cfm (600 l/min)
排氣方式 Exhaust：底排氣 Exhaust end
副室類型 Deputy room type：全開門 Full-door
爐蓋類型 Lid Type：穹頂Dome 或扁平 Flat
磁場類型 Field type：勾型、水平型（可選）hook type, horizontal type (optional)
有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料 providing secondary feed

坩堝驅動單位 Crucible drive unit
提升速度 Lifting speed：0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
最大行程 Total Crucible Travel：2.0 in/min (50.8 mm/min)
行程 Stroke：11.5"(292 mm)
轉速 Rotation speed：0-20 rpm (可逆)

籽晶驅動單位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed：0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed：20 in/min(508 mm/min)
轉速Rotation speed：0-50 rpm （可逆）

廠務要求Utilities
電源電壓（Source Voltage）：380 V±10%
頻率（Frequency）：50/60 Hz
加熱功率(Heating Power）：165 KW底部加熱50 kW
環境溫度（Ambient Temperature）：5～40
相對濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature)：77°F (25 ℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）：50 gpm (185 L/min) total
入口出口壓力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi （2.1 kg/cm2）
主氬氣流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹掃流量(Purge Flow)：100 slpm
合計（Facility Total）：300 slpm
推薦壓力Recommended Supply Pressure：75 psi(5.3 kg/cm2）
壓縮空氣（Air）
推薦壓力Recommended Supply Pressure：90 psi(6.3 kg/cm2)

控制系統 System Control
自動過程 Automatic process
標準PLC/PC控制 control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸 Dimensions(approx.)
總高度 (closed）：5,620mm
寬 Width (W)：2,000mm
深 Depth (D)：2,795.8mm