主要性能指標

爐室資料Puller Data
坩堝直徑Crucible diameter：22"- 28"
單晶直徑Crystal diameter：8"- 12"
裝料量Charge size：350 kg
喉管直徑Throat Diameter：14 "(356mm)
直徑偏差率：Diameter deviation rate：1.5 mm
主爐膛內徑Main furnace Diameter：Φ1100 mm
主爐膛高度Main furnace Height：1450 mm(上1050 mm,下400 mm)
漏率：≤10 mtorr/hour
冷爐極限真空度：≤23 mtorr
全自動長晶過程：
最大拉晶長度：≤3600 mm
排氣方式Exhaust：底排氣Exhaust end
AR進氣介面：1.喉部兩側  2.副爐室上方
Ar流量控制：MFC 4-200 slpm

坩堝驅動單位Crucible drive unit
提升速度Lifting speed：0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
最快提升速度Crucible Jog Speed：2.0 in/min (50.8 mm/min)
行程Stroke：19"(480 mm)
轉速Rotation speed：0-20 rpm

籽晶驅動單位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed：0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed：20 in/min (508 mm/min)
轉速Rotation speed：0-50 rpm

廠務要求Utilities
電源電壓（Source Voltage）：380 V±10%
頻率（Frequency）：50/60 Hz
加熱功率(Heating Power）：160 KW底部加熱50 KW
環境溫度（Ambient Temperature）：5~40
相對濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature)：77°F (25℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）：78 gpm (295 l/min) total
入口出口壓力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1 kg/cm2)  
主氬氣流量（Mass Flow Control(Max.)：200 slpm
吹掃流量(Purge Flow)：100 slpm
合計（Facility Total）：300 slpm
推薦壓力Recommended Supply Pressure：75 psi (5.3 kg/ cm2)
壓縮空氣（Air）
推薦壓力Recommended Supply Pressure：90psi (6.3 kg/ cm2)

控制系統System Control
自動過程Automatic process
標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
總高度 (closed）：8632mm
寬 Width (W)：1580mm
深 Depth (D)：2060mm