主要性能指標

爐室資料Puller Data
坩堝直徑Crucible  diameter：22〞- 28〞
單晶直徑Crystal diameter：8〞- 16〞(200-400mm)
裝料量Charge size：120-280kg
喉管直徑Throat Diameter：16 ”(410mm)
主爐膛內徑Main furnace Diameter：￠1200mm
主爐膛高度Main furnace Height：1500mm
爐門開口尺寸Pull Chamber Door Opening：17〞×93〞（450mm×2373mm）
主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main：221 cfm (6,260 l/min)
輔助真空泵抽速(Recommended) Aux：60 cfm (1，700 l/min)
排氣方式Exhaust：底排氣 Exhaust end
副室類型Deputy room type：全開門 Full-door
爐蓋類型Lid Type：斜頂 Inclined top 
磁場類型Field type：勾型、水平型（可選）hook type, horizontal type (optional)
有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料providing secondary feed

坩堝驅動單位Crucible drive unit
提升速度Lifting speed：0-4.7 in/hr (0-120 mm/hr)
最快提升速度Crucible Jog Speed：(>120 mm/min)
行程Stroke：18〞(457 mm)
轉速Rotation speed：0-20 rpm(可逆)

籽晶驅動單位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed：0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed：20 in/min (508 mm/min)
轉速Rotation speed：0-30 rpm(可逆)

廠務要求Utilities
電源電壓（Source Voltage）：380V±10%
頻率（Frequency）：50/60 Hz
加熱功率(Heating Power）：IGBT 200KW底部加熱50KW
環境溫度（Ambient Temperature）：5~40
相對濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature)： 77°F (25℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）：95 gpm (360 l/min) total
入口出口壓力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi (2.1kg/cm2)  
主氬氣流量（Mass Flow Control(Max.)：200 slpm
吹掃流量(Purge Flow)：100 slpm
合計（Facility Total）：300 slpm
推薦壓力Recommended Supply Pressure：75 psi (5.3 kg/ cm2)
壓縮空氣（Air）
推薦壓力Recommended Supply Pressure：90 psi (6.3 kg/ cm2)

控制系統System Control
自動過程Automatic process
標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
總高度 (closed）：7022 mm
寬 Width (W)：2270 mm
深 Depth (D)：3090 mm