主要性能指標

爐室資料Puller Data
坩堝直徑Crucible  diameter：  20〞- 24〞
單晶直徑Crystal diameter：  8〞- 12〞(200-300mm)
裝料量Charge size：  90-150kg
喉管直徑Throat Diameter：  14 ”(356mm)
主爐膛內徑Main furnace Diameter： ￠1120mm
主爐膛高度Main furnace Height： 1480mm
爐門開口尺寸Pull Chamber Door Opening： 15”×82”（380mm×2082mm）
主真空泵抽速Vacuum Pumps-Main： 221 cfm (6,260 l/min)
輔助真空泵抽速(Recommended) Aux： 60 cfm (1700 l/min)
排氣方式Exhaust：底排氣Exhaust end
副室類型Deputy room type：全開門Full-door
爐蓋類型Lid Type：穹頂Dome
磁場類型Field type：勾型、水平型（可選）hook type, horizontal type (optional)
有導流筒提升、激光測距、CCD控徑
There draft tube upgrade, laser ranging, CCD control path
可提供二次加料providing secondary feed

坩堝驅動單位Crucible drive unit
提升速度Lifting speed：  0-10 in/hr (0-254mm/hr)
最快提升速度Crucible Jog Speed：2.0 in/min (50.8mm/min)
行程Stroke：  18〞(457mm)
轉速Rotation speed：   0-20 rpm

籽晶驅動單位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed：0-20 in/hr (0-508mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed：20 in/min (508/min)
轉速Rotation speed：0-50 rpm

廠務要求Utilities
電源電壓（Source Voltage）： 380V±10%
頻率（Frequency）： 50/60 Hz
加熱功率(Heating Power）： 260KW底部加熱50KW
環境溫度（Ambient Temperature）： 5~40
相對濕度（Relative Humidity）：＜70%
入口端最高水溫(Maximum Inlet Temperature) ：77°F (25℃)      
最小流量（Minimum Flow Rate）： 78 gpm (295 1/min) total
入口出口壓力差（Diff. Supply Pressure）： 30 psi (2.1kg/cm2)  
主氬氣流量（Mass Flow Control(Max.)： 200 slpm
吹掃流量(Purge Flow)： 100 slpm
合計（Facility Total）： 300 slpm
推薦壓力(Recommended Supply Pressure)： 75 psi (5.3kg/ cm2)
壓縮空氣（Air）
推薦壓力(Recommended Supply Pressure)： 90psi (6.3kg/ cm2)

控制系統System Control
自動過程Automatic process
標準PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard

外形尺寸Dimensions(approx.)
總高度 (closed）：6722mm
寬 Width (W)：2250mm
深 Depth (D)：3148mm